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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 做SEM对样品有什么要求？
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llj1982

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 做SEM对样品有什么要求？

想用SEM表征纳米材料，不晓得低于10nm的材料用SEM效果怎样？
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1楼 2009-01-27 15:53:41
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nanotenkia

铁杆木虫 (小有名气)
★
kqy920(金币+1):谢谢应助！ 1-28 09:47
最好用TEM, 也可以用高放大倍数(至少20万倍, 标尺为100nm)的SEM碰碰运气
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2楼2009-01-27 17:44:11
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zbfountain

金虫 (正式写手)
★
kqy920(金币+1):谢谢应助！
要是场发射扫描（FESEM），10nm的东西问题不大。
但是制样时要镀薄一点，最多只能镀3nm，要不然就影响你都形貌了。
普通扫描一般达不到这么高都分辨率，因为电子源质量不够高。所以看这么小的东西aberration 会很严重。
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3楼2009-01-28 15:20:31
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effervescent

铜虫 (小有名气)
★
kqy920(金币+1):谢谢应助！
说的很有道理。

如果你的东西不导电，SEM不喷金也是做不成的。

的确，10nm以下，如果你们的SEM不怎么行的话，劝你还是做TEM吧。
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4楼2009-01-31 20:29:56
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refnew

专家顾问 (知名作家)
★
kqy920(金币+1):谢谢应助！
以前只是听他们说用fib做，不知道有没有可能达到这个分辨率

我用分辨率1.5nm的sem看13nm的金勉强还可以，但拍照就难了
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5楼2009-02-01 15:17:52
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mahl05

禁虫 (正式写手)
★
kqy920(金币+1):谢谢应助！ 2-2 08:40
本帖内容被屏蔽
6楼2009-02-02 08:35:04
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dlchenzzu

金虫 (著名写手)
赞同楼上各位给出的建议！
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7楼2009-02-02 08:50:21
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temedx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
kqy920(金币+2):谢谢应助！
做SEM看10 nm的颗粒，一般只能用场发射SEM观察。但请注意，样品的制备不能喷金，否则金颗粒很容易遮盖样品细节，让你得到一个混淆了Au和你样品的图像。
那么，如果样品导电性不佳，又不能喷金，该如何处理呢，一般建议喷碳，因为碳的分子量小，不容易干扰图像，而且导电性比较好。另外，还可以采用现在FESEM都逐渐采用的减速模式和低电压模式，这个需要操作人员的技术来支持。
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Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
8楼2009-02-02 09:44:45
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kealin

金虫 (正式写手)
★
memser(金币+1,VIP+0):3X 2-4 21:53
为什么用“喷”，用“镀”岂不是更好～
小于10nm的要看具体材料。我有个样品厚度接近1nm，sem也可以看清楚，当然，它本身是良好的半导体。
最好找个老手来做，经验丰富。我自己做的sem分辨率就很低。
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9楼2009-02-04 19:47:10
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