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lisiqi1816

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流溅射的溅射能量计算

实验室用的直流溅射仪,暂时未充保护气,腔室压强大概6pa,电压1000V,电流15ma。如何计算离子轰击到靶上时的能量。

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