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lisiqi1816

新虫 (初入文坛)

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[求助] 直流溅射的溅射能量计算

实验室用的直流溅射仪，暂时未充保护气，腔室压强大概6pa，电压1000V，电流15ma。如何计算离子轰击到靶上时的能量。

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1楼 2017-07-14 10:01:02

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