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射频磁控问题
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射频磁控溅射过程中RFL示数一直调不下去20左右，求原因 发自小木虫Android客户端 |
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首先看你会不会调，如果会调还调不下去的话就是1.靶材表面可能中毒，可以把表面处理一下，2.你可以把扣靶材的罩都拿砂纸打磨，然后酒精擦干3.可能溅射功率过高，你可以在起辉后，慢慢加功率调反溅射4.可能仪器问题，老仪器可能会有这种可能 发自小木虫Android客户端 |
2楼2017-07-13 23:15:34