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jackiemwd

荣誉版主 (知名作家)

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[交流] 有什么化学方法可以腐蚀二氧化硅而不腐蚀硅?

在硅表面沉积了一层二氧化硅,现在想回收硅,不知道能用什么方法只去掉表面的二氧化硅?谢谢!
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zhangwj

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lingzi326(金币+1):欢迎讨论
沉积了一层二氧化硅?
还想回收硅?

实验室去掉硅片表面的二氧化硅是用2%的HF dipping

沉积的二氧化硅?多厚啊?那种方式?
如果用湿化学方法处理回收回来的,估计不能做实验再用了!
谢谢支持材料区@小木虫论坛
2楼2009-01-24 11:57:47
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jackiemwd

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小木虫论坛副秘书长

用PVD的方法沉积的一层厚度微米量级的二氧化硅薄膜
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3楼2009-01-24 15:06:34
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zhangwj

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小木虫无限续航核潜艇

引用回帖:
Originally posted by jackiemwd at 2009-1-24 15:06:
用PVD的方法沉积的一层厚度微米量级的二氧化硅薄膜

偶没有使用PVD做过SiO2膜,我们用的都是直接买的这种硅片,或者找别人要的。除了用氢氟酸泡泡,我实在是想不出别的了。

很好奇你要是要回收硅片,是不是值得啊?
谢谢支持材料区@小木虫论坛
4楼2009-01-24 15:23:18
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