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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 如何在单晶硅上沉积碳
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过客2017

新虫 (初入文坛)

[交流] 如何在单晶硅上沉积碳已有1人参与

请问虫友，隆基硅材料有限公司怎么样，还有如何在单晶硅上沉积碳，

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1楼2017-07-09 09:29:49
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过客2017

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by whd博士 at 2017-07-09 12:20:27
沉积C应该比较简单吧，普通管式炉加上供气系统，用甲烷或者其它C源都可以吧。

嗯嗯，谢谢，请问您有什么好的方法可以降低成本或者缩短工艺吗?

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4楼2017-07-09 15:43:44
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whd博士

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
沉积C应该比较简单吧，普通管式炉加上供气系统，用甲烷或者其它C源都可以吧。
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2楼2017-07-09 12:20:27
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过客2017

新虫 (初入文坛)
嗯嗯，谢谢，有什么好的方法可以降低成本吗

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3楼2017-07-09 15:42:02
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whd博士

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 过客2017 at 2017-07-09 15:43:44
嗯嗯，谢谢，请问您有什么好的方法可以降低成本或者缩短工艺吗?
...

成本这块儿，目前好像碳膜或者碳纳米管都不是很贵吧，成本应该还好，设备也不贵，普通管式炉嘛。至于缩短工艺，这个确实不是很清楚。
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5楼2017-07-10 20:21:31
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