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过客2017

新虫 (初入文坛)

[交流] 如何在单晶硅上沉积碳 已有1人参与

请问虫友,隆基硅材料有限公司怎么样,还有如何在单晶硅上沉积碳,

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whd博士

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
沉积C应该比较简单吧,普通管式炉加上供气系统,用甲烷或者其它C源都可以吧。
2楼2017-07-09 12:20:27
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过客2017

新虫 (初入文坛)

嗯嗯,谢谢,有什么好的方法可以降低成本吗

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3楼2017-07-09 15:42:02
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过客2017

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by whd博士 at 2017-07-09 12:20:27
沉积C应该比较简单吧,普通管式炉加上供气系统,用甲烷或者其它C源都可以吧。

嗯嗯,谢谢,请问您有什么好的方法可以降低成本或者缩短工艺吗?

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4楼2017-07-09 15:43:44
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whd博士

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 过客2017 at 2017-07-09 15:43:44
嗯嗯,谢谢,请问您有什么好的方法可以降低成本或者缩短工艺吗?
...

成本这块儿,目前好像碳膜或者碳纳米管都不是很贵吧,成本应该还好,设备也不贵,普通管式炉嘛。至于缩短工艺,这个确实不是很清楚。
5楼2017-07-10 20:21:31
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