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磁控溅射交叉污染
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| 用磁控溅射先溅射氧化铝AL2o3靶，在PET上生长一层氧化铝过渡层，然后在溅射Al靶，生长Al膜，发现Al膜透光，发黑。（透光不是因为Al太薄，因为溅射了足够时间，以前用同样参数做得Al不透光。）是什么原因？如果Al膜被氧化，是黑色吗？不应该是透明的吗，而且做氧化铝膜时没有通氧 |
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2楼2017-07-11 08:40:47
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