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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射交叉污染
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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anni_anni

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射交叉污染

用磁控溅射先溅射氧化铝AL2o3靶，在PET上生长一层氧化铝过渡层，然后在溅射Al靶，生长Al膜，发现Al膜透光，发黑。（透光不是因为Al太薄，因为溅射了足够时间，以前用同样参数做得Al不透光。）是什么原因？如果Al膜被氧化，是黑色吗？不应该是透明的吗，而且做氧化铝膜时没有通氧
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1楼 2017-07-07 10:05:45
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北河

银虫 (小有名气)
镀膜过程中温度是多少？
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2楼2017-07-11 08:40:47
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anni_anni

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 北河 at 2017-07-11 08:40:47
镀膜过程中温度是多少？

室温，镀银没问题，不知道是不是靶材问题还是Al本身容易氧化
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3楼2017-08-01 11:16:06
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zcdforward

捐助贵宾 (正式写手)
氧化铝貌似不导电吧，应该不透明的

发自小木虫Android客户端
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将来的你，一定会感谢现在拼命努力的你。
4楼2017-08-01 15:36:49
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