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在硅片上旋涂TiO2开裂，成膜不均匀怎么解决？ 已有1人参与
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| 乙醇和水1:1分散TiO2在硅片上旋涂，旋出的膜严重开裂，且呈现放射状，哪位可以给点建议啊？先在硅片上涂一层聚合物，再在其上旋涂TiO2仍然是这样，之前做的都很好，最近半个月突然这样，是温度影响么？哪位前辈能给些指点啊？？？ |
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swallowqiu
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