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新虫 (初入文坛)

[求助] 在硅片上旋涂TiO2开裂,成膜不均匀怎么解决?已有1人参与

乙醇和水1:1分散TiO2在硅片上旋涂,旋出的膜严重开裂,且呈现放射状,哪位可以给点建议啊?先在硅片上涂一层聚合物,再在其上旋涂TiO2仍然是这样,之前做的都很好,最近半个月突然这样,是温度影响么?哪位前辈能给些指点啊???
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swallowqiu

铁杆木虫 (著名写手)

解决了吗?我也遇到这个问题了,请问用什么方法改进?
2楼2018-08-27 17:18:40
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1592203609

荣誉版主 (知名作家)

【答案】应助回帖

用碱泡一下硅片,改善一下表面粗糙度
3楼2018-08-27 18:34:04
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