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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 反应离子刻蚀机通通氩和氧气刻蚀几分钟后射频源灭弧
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天海星云

新虫 (初入文坛)

[交流] 反应离子刻蚀机通通氩和氧气刻蚀几分钟后射频源灭弧 已有1人参与

如题，反应离子刻蚀机通通氩和氧气刻蚀几分钟后射频源灭弧。调整压强和氩养比例多次重复，只通氩气时没问题，只要通氧就出现几分钟后灭弧的现象。有没有碰到过这种情况的？

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1楼 2017-07-01 21:00:36
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我是大百菜

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
灭弧是什么意思，找到什么原因了吗？

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2楼2017-09-06 14:26:33
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