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反应离子刻蚀机通通氩和氧气刻蚀几分钟后射频源灭弧 已有1人参与
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如题，反应离子刻蚀机通通氩和氧气刻蚀几分钟后射频源灭弧。调整压强和氩养比例多次重复，只通氩气时没问题，只要通氧就出现几分钟后灭弧的现象。有没有碰到过这种情况的？ 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2017-09-06 14:26:33