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tianye8801

银虫 (初入文坛)

[求助] 老师您好,请问国内(尤其北京)哪里可以做硅片端面抛光的?我们...

老师您好,请问国内(尤其北京)哪里可以做硅片端面抛光的?我们代工了一批硅片,采用端面耦合方式,但是端面没处理好,光耦合不进去,是否可以用机械化学抛光进行补救?光波导端面尺寸在200nm左右… @yswyx

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tianye8801

银虫 (初入文坛)

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2楼2017-06-30 00:31:06
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tianye8801

银虫 (初入文坛)

第一张图是波导端面的SEM图,第二张是芯片的照片,芯片端面采用深刻蚀的方式刻下去的,形成了一个约10um高的台阶 @yswyx

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3楼2017-06-30 00:32:50
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