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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 老师您好，请问国内（尤其北京）哪里可以做硅片端面抛光的？我们...
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tianye8801

银虫 (初入文坛)

[求助] 老师您好，请问国内（尤其北京）哪里可以做硅片端面抛光的？我们...

老师您好，请问国内（尤其北京）哪里可以做硅片端面抛光的？我们代工了一批硅片，采用端面耦合方式，但是端面没处理好，光耦合不进去，是否可以用机械化学抛光进行补救？光波导端面尺寸在200nm左右… @yswyx

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1楼 2017-06-30 00:29:34
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tianye8801

银虫 (初入文坛)
老师您好，请问国内（尤其北京）哪里可以做硅片端面抛光的？我们...老师您好，请问国内（尤其北京）哪里可以做硅片端面抛光的？我们...-1 @yswyx

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2楼2017-06-30 00:31:06
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tianye8801

银虫 (初入文坛)
第一张图是波导端面的SEM图，第二张是芯片的照片，芯片端面采用深刻蚀的方式刻下去的，形成了一个约10um高的台阶 @yswyx

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3楼2017-06-30 00:32:50
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