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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射做的薄膜能用SEM测试吗？
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葬瑷葬瑷

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射做的薄膜能用SEM测试吗？ 已有3人参与

SEM可以测薄膜吗？用磁控溅射做的薄膜，衬底是石英玻璃，求大神给点指导
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左手是短暂的因果，右手是无尽的孤寞
1楼 2017-06-28 17:54:42
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

用导电胶和导电基底直接贴起来，薄膜导电这样就可以做了，不导电再喷下金
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7楼2017-07-01 19:07:38
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加减小木虫

新虫 (初入文坛)
我们可以做

发自小木虫IOS客户端
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2楼2017-06-28 19:15:08
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繁星落叶

银虫 (著名写手)
可以，不导电的基底加的电压低一点

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3楼2017-06-28 19:48:41
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
磁控溅射的薄膜可以用扫描电镜进行观察。若是金属薄膜可以直接观察；若是无机非材料薄膜需要先表面喷金。
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4楼2017-06-28 21:14:07
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