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葬瑷葬瑷

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射做的薄膜能用SEM测试吗? 已有3人参与

SEM可以测薄膜吗?用磁控溅射做的薄膜,衬底是石英玻璃,求大神给点指导
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左手是短暂的因果,右手是无尽的孤寞
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繁星落叶

银虫 (著名写手)

可以,不导电的基底加的电压低一点

发自小木虫IOS客户端
3楼2017-06-28 19:48:41
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加减小木虫

新虫 (初入文坛)

2楼2017-06-28 19:15:08
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磁控溅射的薄膜可以用扫描电镜进行观察。若是金属薄膜可以直接观察;若是无机非材料薄膜需要先表面喷金。
4楼2017-06-28 21:14:07
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小笛子

新虫 (正式写手)

5楼2017-06-28 23:54:00
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