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直流磁控溅射和射频磁控溅射有哪些区别？为什么我用直流磁控溅射制备氧化钴却不可得？
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| 我是采用直流靶溅射金属钴并通用氧气来制备氧化钴的，当打开直流源后指针特别不稳定，调高后电压不断升高，是由于什么原因呢，望各位虫友给予解惑。谢谢大家！ |
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