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dengdenger新虫 (小有名气)
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[求助]
AZO 薄膜导电问题 已有5人参与
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我用的前驱体溶液旋涂热处理成膜。目前在250.300.400下热处理成膜（加热板）。但是薄膜很透，导电性很差。旋涂10层大概1.5微米那么厚，250度的样品去测霍尔，根本测不出来。400度的可以测出来但是电阻率达到10的3次方，方块电阻10的7次方。我唯一能想到的方法就是提高掺杂量，还有提高温度。非常需要您的帮助，现在做这个很迷茫，只是为了毕业，我觉得现在被这个搞的很压抑。希望大家帮帮我。?? 发自小木虫IOS客户端 |
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16楼2017-06-27 11:14:53
2楼2017-06-23 10:58:51
dengdenger
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 虫号: 4486182
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- 性别: MM
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2017-06-23 11:02:31
dengdenger
4楼2017-06-23 11:15:27