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dengdenger新虫 (小有名气)
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AZO 薄膜导电问题 已有5人参与
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我用的前驱体溶液旋涂热处理成膜。目前在250.300.400下热处理成膜（加热板）。但是薄膜很透，导电性很差。旋涂10层大概1.5微米那么厚，250度的样品去测霍尔，根本测不出来。400度的可以测出来但是电阻率达到10的3次方，方块电阻10的7次方。我唯一能想到的方法就是提高掺杂量，还有提高温度。非常需要您的帮助，现在做这个很迷茫，只是为了毕业，我觉得现在被这个搞的很压抑。希望大家帮帮我。?? 发自小木虫IOS客户端 |
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
| 除了提高掺杂量、提高温度以外，个人觉得还要提高薄膜的密实度，减少其中的气孔率，为此需要增加薄膜对基底的润湿度和降低前驱体悬浮液的表面张力。 |
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dengdenger10楼2017-06-25 09:32:45
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可能太厚，测霍尔3层就差不多，可以试试高温退火前先低温（200）退10min，然后高温退60min 发自小木虫IOS客户端 |
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