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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » AZO 薄膜导电问题
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dengdenger

新虫 (小有名气)

[求助] AZO 薄膜导电问题 已有5人参与

我用的前驱体溶液旋涂热处理成膜。目前在250.300.400下热处理成膜（加热板）。但是薄膜很透，导电性很差。旋涂10层大概1.5微米那么厚，250度的样品去测霍尔，根本测不出来。400度的可以测出来但是电阻率达到10的3次方，方块电阻10的7次方。我唯一能想到的方法就是提高掺杂量，还有提高温度。非常需要您的帮助，现在做这个很迷茫，只是为了毕业，我觉得现在被这个搞的很压抑。希望大家帮帮我。??

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1楼 2017-06-23 07:44:59
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
除了提高掺杂量、提高温度以外，个人觉得还要提高薄膜的密实度，减少其中的气孔率，为此需要增加薄膜对基底的润湿度和降低前驱体悬浮液的表面张力。
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dengdenger
10楼2017-06-25 09:32:45
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a979805929

金虫 (初入文坛)
可能太厚，测霍尔3层就差不多，可以试试高温退火前先低温（200）退10min，然后高温退60min

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dengdenger
不要满足生活的安逸
7楼2017-06-24 23:43:50
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普通回帖

嵩阳圣贤

新虫 (初入文坛)
你好，请问你的问题解决了吗？我也遇到了同样的问题不知如何解决
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2楼2017-06-23 10:58:51
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dengdenger

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 嵩阳圣贤 at 2017-06-23 10:58:51
你好，请问你的问题解决了吗？我也遇到了同样的问题不知如何解决

没解决  (???︿???)

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3楼2017-06-23 11:02:31
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东东那个东

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
掺杂、这是惯用方法，
包覆、最近国轩貌似有人用这个方法在做

只是建议，
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dengdenger
头疼
4楼2017-06-23 11:15:27
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wangyongyu


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5楼2017-06-23 11:43:41
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dengdenger

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wangyongyu at 2017-06-23 11:43:41

你也遇到这个问题了？

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6楼2017-06-23 12:13:57
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dengdenger

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
7楼: Originally posted by a979805929 at 2017-06-24 23:43:50
可能太厚，测霍尔3层就差不多，可以试试高温退火前先低温（200）退10min，然后高温退60min

我还没有涂过3层，不知道结晶性怎么样。感谢您的建议，我会试试的。刚发了一个想退学的帖子，点开您的回复发现不是回复那个帖子的，真是惊喜。

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8楼2017-06-24 23:57:59
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dengdenger

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by 东东那个东 at 2017-06-23 11:15:27
掺杂、这是惯用方法，
包覆、最近国轩貌似有人用这个方法在做

只是建议，

我目前做的就是掺杂，不可能做包附了吧？感谢您的建议，我会查一下的。

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9楼2017-06-24 23:58:47
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