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有没有什么方法可以图形化有机含氟硅烷？
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| 想做一个器件，衬底是硅片，硅片上生长氧化硅，氧化硅上面制备有机含氟硅烷，但想在不损伤氧化硅的前提下在有机含氟硅烷上面挖掉几个圆形，请问大家有什么好的建议？谢谢！ |
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