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wangbing108222

至尊木虫 (正式写手)

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[求助] 为什么溅射不上聚四氟乙烯薄膜已有2人参与

最近将聚四氟乙烯作为靶材，在金属上沉积聚四氟乙烯薄膜，但试了各种工艺条件以及各种基片都没有成功，用的是射频溅射，辉光都很正常。文献中的报道都是怎么做出来的呀？

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薄膜制备与特性

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1楼 2017-06-21 17:40:07

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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【答案】应助回帖

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wangbing108222: 金币+10, ★有帮助, 非常感谢！ 2017-06-21 20:33:22
wangbing108222: 金币+10, ★有帮助, 非常感谢！ 2017-06-21 20:35:36

是聚四氟乙烯薄膜沉积不上金属表面上去？个人认为，一是检查基底清洗的情况如何；二是能否给基底稍微预热一下；三是基底能否表面打毛一下。这些措施都是为了使聚四氟乙烯能更好地润湿基底表面。另外，参考一下下面的文献链接：
http://www.360doc.com/content/17/0403/23/41232798_642654783.shtml