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wangbing108222

至尊木虫 (正式写手)

[求助] 为什么溅射不上聚四氟乙烯薄膜 已有2人参与

最近将聚四氟乙烯作为靶材,在金属上沉积聚四氟乙烯薄膜,但试了各种工艺条件以及各种基片都没有成功,用的是射频溅射,辉光都很正常。文献中的报道都是怎么做出来的呀?
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wangbing108222

至尊木虫 (正式写手)

基片包括不锈钢、硅片、铝及玻璃等
2楼2017-06-21 17:41:01
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wangbing108222

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wangbing108222 at 2017-06-21 17:41:01
基片包括不锈钢、硅片、铝及玻璃等

顶
3楼2017-06-21 17:43:29
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4楼2017-06-21 18:34:41
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wangbing108222: 金币+10, ★有帮助, 非常感谢! 2017-06-21 20:33:22
wangbing108222: 金币+10, ★有帮助, 非常感谢! 2017-06-21 20:35:36
是聚四氟乙烯薄膜沉积不上金属表面上去?个人认为,一是检查基底清洗的情况如何;二是能否给基底稍微预热一下;三是基底能否表面打毛一下。这些措施都是为了使聚四氟乙烯能更好地润湿基底表面。另外,参考一下下面的文献链接:
http://www.360doc.com/content/17/0403/23/41232798_642654783.shtml
5楼2017-06-21 20:00:19
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wangbing108222

至尊木虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2017-06-21 20:00:19
是聚四氟乙烯薄膜沉积不上金属表面上去?个人认为,一是检查基底清洗的情况如何;二是能否给基底稍微预热一下;三是基底能否表面打毛一下。这些措施都是为了使聚四氟乙烯能更好地润湿基底表面。另外,参考一下下面的 ...

非常感谢!
6楼2017-06-21 20:47:19
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

查看下基底是否干净,应该是这个问题
7楼2017-10-26 13:45:02
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