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liuyulun1225

新虫 (正式写手)

[求助] 脉冲激光沉积制备工艺求助。 已有2人参与

想知道激光打到靶材上,让不同材质靶材打出等离子体的能量阀值是多少?

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kangye_1989

木虫 (著名写手)

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感谢参与,应助指数 +1
你关注的方向可能有点问题,我们一般会关注等离子羽辉能溅射到沉底上这个时候的能量值,我们实验室就是直接观察,生长薄膜时会比这个值大一些,具体的能量需要通过实验得到,已得到结晶质量高,表面平整的能量值为优。这个能量还与腔体内的真空度有很大关系。光斑的大小一般是不会去测的,比较难测。可以用感光纸放到靶材的位置上,打一下看看光斑的大小,一般感光纸会直接打穿烧掉。
3楼2017-06-12 11:14:52
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liuyulun1225

新虫 (正式写手)

简单说一下情况:用的是KrF准分子激光器,波长是248nm,换算出来光子能量大约是9ev,聚焦在靶材的光斑尺寸不知道怎么测量。靶材是GaN靶和In靶。请大家指导一下,或者告诉我该看什么书。

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2楼2017-06-11 12:01:00
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liuyulun1225

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-12 11:14:52
你关注的方向可能有点问题,我们一般会关注等离子羽辉能溅射到沉底上这个时候的能量值,我们实验室就是直接观察,生长薄膜时会比这个值大一些,具体的能量需要通过实验得到,已得到结晶质量高,表面平整的能量值为优 ...

好的,谢谢您的指导。

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4楼2017-06-13 10:33:42
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PLD少年

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-12 11:14:52
你关注的方向可能有点问题,我们一般会关注等离子羽辉能溅射到沉底上这个时候的能量值,我们实验室就是直接观察,生长薄膜时会比这个值大一些,具体的能量需要通过实验得到,已得到结晶质量高,表面平整的能量值为优 ...

请问大神,怎样看结晶质量呢?

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5楼2017-06-21 11:34:25
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

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5楼: Originally posted by PLD少年 at 2017-06-21 11:34:25
请问大神,怎样看结晶质量呢?
...

结晶质量可以通过XRD去表征,衍射峰的强度、半高宽等。也可通过TEM,SEM,AFM等形貌的观察。
6楼2017-06-21 12:19:33
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PLD少年

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-21 12:19:33
结晶质量可以通过XRD去表征,衍射峰的强度、半高宽等。也可通过TEM,SEM,AFM等形貌的观察。...

我首先采用了XRD来表征,当我膜做得很厚,大概七十到八十纳米的时候能看到钌酸锶的衍射峰,但当我降低膜厚到四十五十纳米的时候就看不到钌酸锶的衍射峰了,XRD图上衍射峰的位置和卡片对不上,你对此有什么看法吗?

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7楼2017-06-21 14:07:29
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by PLD少年 at 2017-06-21 14:07:29
我首先采用了XRD来表征,当我膜做得很厚,大概七十到八十纳米的时候能看到钌酸锶的衍射峰,但当我降低膜厚到四十五十纳米的时候就看不到钌酸锶的衍射峰了,XRD图上衍射峰的位置和卡片对不上,你对此有什么看法吗?
...

薄膜的厚度太薄,XRD衍射峰可能非常弱,被衬底衍射峰覆盖了。关于标准卡片的问题,PLD生长的薄膜一般是单一取向的薄膜,比如说001方向,所以衍射峰只出现(00L)的衍射峰,不会出现其他取向的衍射峰。所以你和标准卡片对不上。
8楼2017-06-22 11:38:47
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PLD少年

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:
8楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-22 11:38:47
薄膜的厚度太薄,XRD衍射峰可能非常弱,被衬底衍射峰覆盖了。关于标准卡片的问题,PLD生长的薄膜一般是单一取向的薄膜,比如说001方向,所以衍射峰只出现(00L)的衍射峰,不会出现其他取向的衍射峰。所以你和标准 ...

请问你们的衬底怎么处理的?XRD测的是高分辨模式吗?

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9楼2017-06-22 11:59:09
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by PLD少年 at 2017-06-22 11:59:09
请问你们的衬底怎么处理的?XRD测的是高分辨模式吗?
...

衬底衍射峰是保留的,没有必要去除。高分辨不清楚,就是正常测的。有的时候会扫描速度回很慢。
10楼2017-06-23 07:52:11
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