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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 脉冲激光沉积制备工艺求助。
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liuyulun1225

新虫 (正式写手)

[求助] 脉冲激光沉积制备工艺求助。 已有2人参与

想知道激光打到靶材上，让不同材质靶材打出等离子体的能量阀值是多少？

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1楼 2017-06-11 12:00:30
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你关注的方向可能有点问题，我们一般会关注等离子羽辉能溅射到沉底上这个时候的能量值，我们实验室就是直接观察，生长薄膜时会比这个值大一些，具体的能量需要通过实验得到，已得到结晶质量高，表面平整的能量值为优。这个能量还与腔体内的真空度有很大关系。光斑的大小一般是不会去测的，比较难测。可以用感光纸放到靶材的位置上，打一下看看光斑的大小，一般感光纸会直接打穿烧掉。
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3楼2017-06-12 11:14:52
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liuyulun1225

新虫 (正式写手)
简单说一下情况：用的是KrF准分子激光器，波长是248nm,换算出来光子能量大约是9ev，聚焦在靶材的光斑尺寸不知道怎么测量。靶材是GaN靶和In靶。请大家指导一下，或者告诉我该看什么书。

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2楼2017-06-11 12:01:00
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liuyulun1225

新虫 (正式写手)
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3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-12 11:14:52
你关注的方向可能有点问题，我们一般会关注等离子羽辉能溅射到沉底上这个时候的能量值，我们实验室就是直接观察，生长薄膜时会比这个值大一些，具体的能量需要通过实验得到，已得到结晶质量高，表面平整的能量值为优 ...

好的，谢谢您的指导。

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4楼2017-06-13 10:33:42
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PLD少年

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-12 11:14:52
你关注的方向可能有点问题，我们一般会关注等离子羽辉能溅射到沉底上这个时候的能量值，我们实验室就是直接观察，生长薄膜时会比这个值大一些，具体的能量需要通过实验得到，已得到结晶质量高，表面平整的能量值为优 ...

请问大神，怎样看结晶质量呢？

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5楼2017-06-21 11:34:25
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
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5楼: Originally posted by PLD少年 at 2017-06-21 11:34:25
请问大神，怎样看结晶质量呢？
...

结晶质量可以通过XRD去表征，衍射峰的强度、半高宽等。也可通过TEM，SEM，AFM等形貌的观察。
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6楼2017-06-21 12:19:33
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PLD少年

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-21 12:19:33
结晶质量可以通过XRD去表征，衍射峰的强度、半高宽等。也可通过TEM，SEM，AFM等形貌的观察。...

我首先采用了XRD来表征，当我膜做得很厚，大概七十到八十纳米的时候能看到钌酸锶的衍射峰，但当我降低膜厚到四十五十纳米的时候就看不到钌酸锶的衍射峰了，XRD图上衍射峰的位置和卡片对不上，你对此有什么看法吗？

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7楼2017-06-21 14:07:29
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by PLD少年 at 2017-06-21 14:07:29
我首先采用了XRD来表征，当我膜做得很厚，大概七十到八十纳米的时候能看到钌酸锶的衍射峰，但当我降低膜厚到四十五十纳米的时候就看不到钌酸锶的衍射峰了，XRD图上衍射峰的位置和卡片对不上，你对此有什么看法吗？
...

薄膜的厚度太薄，XRD衍射峰可能非常弱，被衬底衍射峰覆盖了。关于标准卡片的问题，PLD生长的薄膜一般是单一取向的薄膜，比如说001方向，所以衍射峰只出现（00L）的衍射峰，不会出现其他取向的衍射峰。所以你和标准卡片对不上。
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8楼2017-06-22 11:38:47
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PLD少年

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by kangye_1989 at 2017-06-22 11:38:47
薄膜的厚度太薄，XRD衍射峰可能非常弱，被衬底衍射峰覆盖了。关于标准卡片的问题，PLD生长的薄膜一般是单一取向的薄膜，比如说001方向，所以衍射峰只出现（00L）的衍射峰，不会出现其他取向的衍射峰。所以你和标准 ...

请问你们的衬底怎么处理的？XRD测的是高分辨模式吗？

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9楼2017-06-22 11:59:09
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kangye_1989

木虫 (著名写手)
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9楼: Originally posted by PLD少年 at 2017-06-22 11:59:09
请问你们的衬底怎么处理的？XRD测的是高分辨模式吗？
...

衬底衍射峰是保留的，没有必要去除。高分辨不清楚，就是正常测的。有的时候会扫描速度回很慢。
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10楼2017-06-23 07:52:11
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