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单晶硅扩散后PN结退火的晶格变化 已有1人参与
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| P型单晶硅片经过POCl3扩散出80欧姆/平方的PN结，去除磷硅玻璃后，进行600-700℃的氮气退火15分钟，PN结或硅片表面态发生了那些变化？ |
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张雯66
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