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tuboshu19

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请教大神,赛隆陶瓷如何做等离子刻蚀

近期在实验室对赛隆陶瓷做等离子刻蚀,用于做SEM,采用四氟化碳气体,刻蚀了90s,还是看不出形貌,求大神指点一下
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