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请教大神,赛隆陶瓷如何做等离子刻蚀
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| 近期在实验室对赛隆陶瓷做等离子刻蚀,用于做SEM,采用四氟化碳气体,刻蚀了90s,还是看不出形貌,求大神指点一下 |
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