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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于微纳加工板块
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memser


[资源] 关于微纳加工板块

微纳加工工艺是MEMS/NEMS基础，经过几十年的发展已经开发出多钟微纳制造/加工技术。主要包括：
硅微细加工：硅表面加工（光刻、扩束、沉积、等离子及反应离子刻蚀）和体硅加工（电化学腐蚀、深层例子刻蚀、自停止腐蚀、各项异性腐蚀）
光刻电铸工艺：LIGA加工、准LIGA加工
立体光刻
能量加工：技工加工、电子束加工、离子束加工
精密加工：微细超声加工、微细电解加工、微细电火花加工
欢迎从事该领域的虫子一起探讨、交流、学习。
*此帖有待进一步整理*

[ Last edited by memser on 2009-1-9 at 22:30 ]
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1楼 2009-01-09 22:10:27
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quanbaogang

木虫 (正式写手)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

愿意参加这个版块的讨论，有5年研究经验了。
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5楼2009-01-12 08:41:48
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memser


引用回帖:
Originally posted by quanbaogang at 2009-1-12 08:41:
愿意参加这个版块的讨论，有5年研究经验了。

呵呵，资深了。多讨论，欢迎多来交流：）
赞一下 回复此楼
6楼2009-01-12 19:00:47
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liangblue1044

金虫 (正式写手)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

★
memser(金币+1,VIP+0):感谢补充信息，欢迎常来微纳版讨论，交流 2-22 15:49
激光微纳加工，使用超短脉冲激光制作三维纳光子器件也应该是吧
赞一下(10人) 回复此楼
7楼2009-02-22 15:39:47
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