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memser


[资源] 关于微纳加工板块

微纳加工工艺是MEMS/NEMS基础,经过几十年的发展已经开发出多钟微纳制造/加工技术。主要包括:
硅微细加工:硅表面加工(光刻、扩束、沉积、等离子及反应离子刻蚀)和体硅加工(电化学腐蚀、深层例子刻蚀、自停止腐蚀、各项异性腐蚀)
光刻电铸工艺:LIGA加工、准LIGA加工
立体光刻
能量加工:技工加工、电子束加工、离子束加工
精密加工:微细超声加工、微细电解加工、微细电火花加工
欢迎从事该领域的虫子一起探讨、交流、学习。
*此帖有待进一步整理*

[ Last edited by memser on 2009-1-9 at 22:30 ]
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发了这么多帖子
2楼2009-01-09 22:12:07
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jqliu

木虫 (小有名气)


★★★★★ 五星级,优秀推荐

同行,支持支持
4楼2009-01-11 20:46:08
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quanbaogang

木虫 (正式写手)


★★★★★ 五星级,优秀推荐

愿意参加这个版块的讨论,有5年研究经验了。
5楼2009-01-12 08:41:48
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memser


引用回帖:
Originally posted by quanbaogang at 2009-1-12 08:41:
愿意参加这个版块的讨论,有5年研究经验了。

呵呵,资深了。多讨论,欢迎多来交流:)
6楼2009-01-12 19:00:47
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liangblue1044

金虫 (正式写手)


★★★★★ 五星级,优秀推荐


memser(金币+1,VIP+0):感谢补充信息,欢迎常来微纳版讨论,交流 2-22 15:49
激光微纳加工,使用超短脉冲激光制作三维纳光子器件也应该是吧
7楼2009-02-22 15:39:47
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简单回复
渔翁8603楼
2009-01-11 07:55   回复  
 
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