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关于微纳加工板块
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微纳加工工艺是MEMS/NEMS基础，经过几十年的发展已经开发出多钟微纳制造/加工技术。主要包括： 硅微细加工：硅表面加工（光刻、扩束、沉积、等离子及反应离子刻蚀）和体硅加工（电化学腐蚀、深层例子刻蚀、自停止腐蚀、各项异性腐蚀） 光刻电铸工艺：LIGA加工、准LIGA加工 立体光刻 能量加工：技工加工、电子束加工、离子束加工 精密加工：微细超声加工、微细电解加工、微细电火花加工 欢迎从事该领域的虫子一起探讨、交流、学习。 *此帖有待进一步整理* [ Last edited by memser on 2009-1-9 at 22:30 ] |
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