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陶瓷靶材碎靶
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巡山老爷爷
银虫
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在线: 30.1小时
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用陶瓷靶材进行直流磁控溅射,功率大了靶材直接裂掉,有没有朋友遇到过靶材碎裂的时候,不调整功率的情况下怎么能解决呢?
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2017-05-18 21:22:02
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mirotest
新虫
(初入文坛)
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(幼儿园)
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虫号: 4489906
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
靶裂开是因为受热不均匀的原因,功率加大肯定温度也高,为什么不试试射频电源呢
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19楼
2017-05-23 15:43:35
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h2o~
禁虫
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5楼
2017-05-18 21:22:30
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吴勇杰
2楼
2017-05-18 21:22
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liuyang512
3楼
2017-05-18 21:22
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h2o~
4楼
2017-05-18 21:22
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超级老快
6楼
2017-05-18 21:22
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海棠未雨
7楼
2017-05-18 21:23
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颖晗陌
8楼
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wyj970
9楼
2017-05-18 21:23
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redwang8181
10楼
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jixiangbao
11楼
2017-05-18 21:23
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yqhuo
12楼
2017-05-18 21:23
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15295571791
13楼
2017-05-18 21:23
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一路呢喃向西
14楼
2017-05-18 21:23
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