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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 陶瓷靶材碎靶
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巡山老爷爷

银虫 (小有名气)
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陶瓷靶材碎靶
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用陶瓷靶材进行直流磁控溅射，功率大了靶材直接裂掉，有没有朋友遇到过靶材碎裂的时候，不调整功率的情况下怎么能解决呢？

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1楼 2017-05-18 21:22:02
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guotao019

新虫 (著名写手)
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靶材有没有背铜？

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16楼2017-05-18 21:24:31
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h2o~

禁虫 (职业作家)
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5楼2017-05-18 21:22:30
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091820053

禁虫 (知名作家)
★
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17楼2017-05-19 12:18:17
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luweixiao

新虫 (初入文坛)
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18楼2017-05-19 16:19:38
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mirotest

新虫 (初入文坛)
★
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靶裂开是因为受热不均匀的原因，功率加大肯定温度也高，为什么不试试射频电源呢
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19楼2017-05-23 15:43:35
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物理所大师兄

新虫 (初入文坛)
★
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你们实验室没有射频的吗，陶瓷靶材一般我们自己用射频溅射，还有就是我们的靶材背面有铜，厂家让我们绑定的
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20楼2017-06-12 09:14:02
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生产溅射靶材

新虫 (初入文坛)
祝福楼主科研顺利

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21楼2017-07-17 12:23:12
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)
★
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为啥用直流电源溅射呢，陶瓷靶材这些导热性不好，最好用射频溅射，而且靶材溅射时候控制好频率，做好预溅射。
新手溅射，最好做一下靶材绑定，防止靶材碎裂，即使后期打裂开了，也有绑定的背靶固定着，就还能继续使用，一定程度提高了靶材使用率
希望能帮到你
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22楼2017-08-07 11:03:50
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吴勇杰2楼
2017-05-18 21:22   回复  
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liuyang5123楼
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h2o~4楼
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超级老快6楼
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海棠未雨7楼
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颖晗陌8楼
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wyj9709楼
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redwang818110楼
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jixiangbao11楼
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yqhuo12楼
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1529557179113楼
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一路呢喃向西14楼
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UFOT15楼
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