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xxiaotian木虫 (初入文坛)
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磁控溅射 钛靶中心出现颜色 托盘出现颜色已有1人参与
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在实验室中镀Ti，镀完之后发现钛靶中心出现浅绿色（如图1），样品上镀出来的颜色没有问题，然而样品周围托盘上的颜色变为了黄色，托盘上方大挡板上面出现了彩色花纹（如图2）。目前猜测是由于腔室中存在氧气导致氧化造成的，不知是否如此。求问各位这种情况产生的原因以及如何解决啊。 溅射条件为：真空度抽到5E-4 Pa，氩气压强0.9Pa，钛靶电源电流设置为0.4A，所用Ti靶为新购置，首次镀，空镀10分钟后镀的样品。镀20分钟，镀完后测得Ti厚度为30nm左右。  Fig1.jpg  Fig2.jpg |
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2楼2017-05-17 11:13:17
3楼2017-05-17 13:20:23
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1.沉积速率有点慢，20分钟30nm。应该是功率不够。2.黄色有可能是TiN。3.应该是有漏气。 发自小木虫Android客户端 |
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xxiaotian4楼2017-05-17 20:58:52
babyoflion
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5楼2017-05-18 08:40:46
xxiaotian
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6楼2017-05-18 13:57:15
xxiaotian
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另外请问您靶上圆环内的绿色是怎么造成的啊？ 以前用旧靶镀的时候中间呈暗灰色，速率20min只能镀15nm，怀疑是靶被氧化了，现在换了新靶，速率仍然不快，中间出现了绿色7楼2017-05-18 14:02:59
8楼2017-05-18 18:41:21
xxiaotian
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9楼2017-05-19 13:29:41
10楼2017-05-19 18:43:34