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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射 钛靶中心出现颜色 托盘出现颜色
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xxiaotian

木虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 钛靶中心出现颜色 托盘出现颜色 已有1人参与

在实验室中镀Ti，镀完之后发现钛靶中心出现浅绿色（如图1），样品上镀出来的颜色没有问题，然而样品周围托盘上的颜色变为了黄色，托盘上方大挡板上面出现了彩色花纹（如图2）。目前猜测是由于腔室中存在氧气导致氧化造成的，不知是否如此。求问各位这种情况产生的原因以及如何解决啊。
溅射条件为：真空度抽到5E-4 Pa，氩气压强0.9Pa，钛靶电源电流设置为0.4A，所用Ti靶为新购置，首次镀，空镀10分钟后镀的样品。镀20分钟，镀完后测得Ti厚度为30nm左右。

磁控溅射 钛靶中心出现颜色 托盘出现颜色
Fig1.jpg


磁控溅射 钛靶中心出现颜色 托盘出现颜色-1
Fig2.jpg
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薄膜制备与特性 磁控溅射氧化物

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积极工作！！！
1楼 2017-05-17 10:55:07
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cityhk

新虫 (小有名气)
不叫事。

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2楼2017-05-17 11:13:17
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晨晨晨晨晨曦


发自小木虫IOS客户端
3楼2017-05-17 13:20:23
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Friend007

银虫 (知名作家)
1.沉积速率有点慢，20分钟30nm。应该是功率不够。2.黄色有可能是TiN。3.应该是有漏气。

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xxiaotian
4楼2017-05-17 20:58:52
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xxiaotian: 金币+10, ★★★很有帮助 2017-05-18 14:07:00
解决的方法就是将挡板上的东西擦掉就行了 哈哈！！！  整个圆形靶材在溅射的时候周围和中间区域磁场不同，所以溅射速率不同，导致中间出现圆环很正常，另外挡板等区域的原因是溅射成膜后并不是单一厚度的（挡板不光滑等），所以出现彩色非常正常
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5楼2017-05-18 08:40:46
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xxiaotian

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2017-05-18 08:40:46
解决的方法就是将挡板上的东西擦掉就行了 哈哈！！！  整个圆形靶材在溅射的时候周围和中间区域磁场不同，所以溅射速率不同，导致中间出现圆环很正常，另外挡板等区域的原因是溅射成膜后并不是单一厚度的（挡板不光 ...

请问您中间靶上圆环内的绿色正常吗？ 另外黄色的您认为是什么啊
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积极工作！！！
6楼2017-05-18 13:57:15
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xxiaotian

木虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2017-05-17 20:58:52
1.沉积速率有点慢，20分钟30nm。应该是功率不够。2.黄色有可能是TiN。3.应该是有漏气。

嗯嗯，搜了一下 TiN是金黄色的   另外请问您靶上圆环内的绿色是怎么造成的啊？ 以前用旧靶镀的时候中间呈暗灰色，速率20min只能镀15nm，怀疑是靶被氧化了，现在换了新靶，速率仍然不快，中间出现了绿色
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积极工作！！！
7楼2017-05-18 14:02:59
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Friend007

银虫 (知名作家)
绿色应该是氧化了。你可以检查一下哪里漏气了。还有靶材尺寸是多大呢，我也怀疑功率太小了。

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8楼2017-05-18 18:41:21
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xxiaotian

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by Friend007 at 2017-05-18 18:41:21
绿色应该是氧化了。你可以检查一下哪里漏气了。还有靶材尺寸是多大呢，我也怀疑功率太小了。

靶材尺寸是60mm乘3mm，今天更换了一个可能漏气的阀门，用不同的功率镀一次

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积极工作！！！
9楼2017-05-19 13:29:41
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
9楼: Originally posted by xxiaotian at 2017-05-19 13:29:41
靶材尺寸是60mm乘3mm，今天更换了一个可能漏气的阀门，用不同的功率镀一次
...

嗯 先排除漏点 然后加大功率试试。功率应该最少300w。

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10楼2017-05-19 18:43:34
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