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yuh1984

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】做CuAlO2陶瓷靶的问题

有没有做CuAlO2陶瓷靶的高手,我做了一个多月了还是做不出来,请大虾指点一下。(中间做出来过一次,可惜靶材裂了不能用,之后再也重复不出来了)

[ Last edited by lvzhu2007 on 2009-1-8 at 16:07 ]
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yuh1984

木虫 (著名写手)

帮帮忙啊,老板让我放假前做出来,我还想回家呢。
我用Cu2O和Al2O3粉末在1100°C,1150°C,1200°C,1350°C都试过了,就在1100°C烧出来过一次,就再也重复不出来了。氧化亚铜和氧化铝在1100°C反映生成CuAlO2了,但是没有陶瓷化,也不知道什么原因?
请大家帮帮忙啊
2楼2009-01-08 15:54:44
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yuh1984

木虫 (著名写手)

有没有做其他陶瓷靶的讲讲经验也好呀,比如温度梯度的问题,气体保护的问题
3楼2009-01-08 15:58:01
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yuh1984

木虫 (著名写手)

不要沉呀
4楼2009-01-08 16:40:31
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):感谢您的答复~
"氧化亚铜和氧化铝在1100°C反映生成CuAlO2了,但是没有陶瓷化,"是什么意思?好像文献上做薄膜的都是用你说的Cu2O和Al2O3粉末反应就行了,只要是CuAlO2就可以了,做靶材的元素成分对就行了,你说的陶瓷化是什么意思?是没有结成块儿?
5楼2009-01-08 16:51:57
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yuh1984

木虫 (著名写手)

谢谢4楼。靶材是在压制成靶材形状之后再烧靶的,烧完之后还是靶材形状,但是靶材要陶瓷化后才能用,如果没有陶瓷化,靶材不够致密,溅射的话,一打就透。 陶瓷化从外表上能看出来,陶瓷化的靶材要比原来压制的靶材尺寸上缩小,而且更结实也就是致密。
多谢4楼!请问你有没有做过其他材料的靶材或是看人做过,给点信息,对我很有帮助。
6楼2009-01-08 17:59:32
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流
致密化要自己压吧,做cualo2薄膜的论文里面都是,先吧两种粉末放在一起球磨,而后烧结,再磨再烧结
7楼2009-01-08 18:02:39
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yuh1984

木虫 (著名写手)

楼上说的对,我看文献里也是那么写的可是我就做出来一次,可惜那次靶材中间有裂纹不能用。之后在同样的条件我就是重复不出来了,不知道什么原因。我要是能把陶瓷化的靶材和没有陶瓷化的靶材给你看看,你就明白我说的陶瓷化什么意思了。当初用手机照下来好了
8楼2009-01-08 18:18:42
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

我明白陶瓷化 的意思了。 就是要致密就想一个物件儿一样,而非是一团粉末。
9楼2009-01-08 20:59:58
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yuh1984

木虫 (著名写手)

你真聪明,要陶瓷化的靶材而不是靶材形状的粉末团。
还有没有好心的大虾来帮帮忙呀
10楼2009-01-08 21:22:41
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