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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】做CuAlO2陶瓷靶的问题
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yuh1984

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】做CuAlO2陶瓷靶的问题

有没有做CuAlO2陶瓷靶的高手，我做了一个多月了还是做不出来，请大虾指点一下。（中间做出来过一次，可惜靶材裂了不能用，之后再也重复不出来了）

[ Last edited by lvzhu2007 on 2009-1-8 at 16:07 ]
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1楼 2009-01-08 15:48:58
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yuh1984

木虫 (著名写手)
谢谢4楼。靶材是在压制成靶材形状之后再烧靶的，烧完之后还是靶材形状，但是靶材要陶瓷化后才能用，如果没有陶瓷化，靶材不够致密，溅射的话，一打就透。 陶瓷化从外表上能看出来，陶瓷化的靶材要比原来压制的靶材尺寸上缩小，而且更结实也就是致密。
多谢4楼！请问你有没有做过其他材料的靶材或是看人做过，给点信息，对我很有帮助。
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6楼2009-01-08 17:59:32
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yuh1984

木虫 (著名写手)
帮帮忙啊，老板让我放假前做出来，我还想回家呢。
我用Cu2O和Al2O3粉末在1100°C，1150°C，1200°C，1350°C都试过了，就在1100°C烧出来过一次，就再也重复不出来了。氧化亚铜和氧化铝在1100°C反映生成CuAlO2了，但是没有陶瓷化，也不知道什么原因？
请大家帮帮忙啊
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2楼2009-01-08 15:54:44
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yuh1984

木虫 (著名写手)
有没有做其他陶瓷靶的讲讲经验也好呀，比如温度梯度的问题，气体保护的问题
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3楼2009-01-08 15:58:01
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):感谢您的答复~
"氧化亚铜和氧化铝在1100°C反映生成CuAlO2了，但是没有陶瓷化，"是什么意思？好像文献上做薄膜的都是用你说的Cu2O和Al2O3粉末反应就行了，只要是CuAlO2就可以了，做靶材的元素成分对就行了，你说的陶瓷化是什么意思？是没有结成块儿？
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5楼2009-01-08 16:51:57
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