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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yuh1984

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】做CuAlO2陶瓷靶的问题

有没有做CuAlO2陶瓷靶的高手,我做了一个多月了还是做不出来,请大虾指点一下。(中间做出来过一次,可惜靶材裂了不能用,之后再也重复不出来了)

[ Last edited by lvzhu2007 on 2009-1-8 at 16:07 ]
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yuh1984

木虫 (著名写手)

你真聪明,要陶瓷化的靶材而不是靶材形状的粉末团。
还有没有好心的大虾来帮帮忙呀
10楼2009-01-08 21:22:41
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yuh1984

木虫 (著名写手)

帮帮忙啊,老板让我放假前做出来,我还想回家呢。
我用Cu2O和Al2O3粉末在1100°C,1150°C,1200°C,1350°C都试过了,就在1100°C烧出来过一次,就再也重复不出来了。氧化亚铜和氧化铝在1100°C反映生成CuAlO2了,但是没有陶瓷化,也不知道什么原因?
请大家帮帮忙啊
2楼2009-01-08 15:54:44
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yuh1984

木虫 (著名写手)

有没有做其他陶瓷靶的讲讲经验也好呀,比如温度梯度的问题,气体保护的问题
3楼2009-01-08 15:58:01
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):感谢您的答复~
"氧化亚铜和氧化铝在1100°C反映生成CuAlO2了,但是没有陶瓷化,"是什么意思?好像文献上做薄膜的都是用你说的Cu2O和Al2O3粉末反应就行了,只要是CuAlO2就可以了,做靶材的元素成分对就行了,你说的陶瓷化是什么意思?是没有结成块儿?
5楼2009-01-08 16:51:57
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