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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】薄膜应力测量
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dahaoren

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】薄膜应力测量

各位坛友，请问薄膜的内应力（透明和不透明）如何测量？有朋友说可以用SE（椭偏仪）来测量，不知测量原理是什么？精度怎样？
感谢大家！

[ Last edited by SHY31 on 2009-1-8 at 15:07 ]
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1楼 2009-01-08 11:43:51
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ostrichzhang

木虫 (小有名气)
你是想测残余内应力还是内应力的变化情况？
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3楼2009-01-08 19:49:40
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heaven100

★ ★
纳米镍粉(金币+2,VIP+0):正解!!!!
打帕纳克公司的电话，找陈京一问问
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2楼2009-01-08 12:08:29
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ljmeng

木虫 (正式写手)
最常用的办法是测量XRD，从衍射峰的偏离来计算残余应力的大小。也可以用测量Raman光谱的方法，当然得有Raman信号才行。
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4楼2009-01-10 04:13:40
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