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dahaoren

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】薄膜应力测量

各位坛友,请问薄膜的内应力(透明和不透明)如何测量?有朋友说可以用SE(椭偏仪)来测量,不知测量原理是什么?精度怎样?
感谢大家!

[ Last edited by SHY31 on 2009-1-8 at 15:07 ]
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heaven100

★ ★
纳米镍粉(金币+2,VIP+0):正解!!!!
打帕纳克公司的电话,找陈京一问问
2楼2009-01-08 12:08:29
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ostrichzhang

木虫 (小有名气)

你是想测残余内应力还是内应力的变化情况?
3楼2009-01-08 19:49:40
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ljmeng

木虫 (正式写手)

最常用的办法是测量XRD,从衍射峰的偏离来计算残余应力的大小。也可以用测量Raman光谱的方法,当然得有Raman信号才行。
4楼2009-01-10 04:13:40
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