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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 综合其他 » 如何处理硅片才能让硅片亲有机溶剂
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木子先生李

新虫 (小有名气)

[求助] 如何处理硅片才能让硅片亲有机溶剂 已有6人参与

请教各位 请多多指教！

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1楼 2017-05-05 18:45:46
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enohk

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1、Piranha溶液清洗硅片
Piranha溶液配方：98%的浓硫酸与30%的双氧水 以体积比7:3混合  
清洗方法：超声沉降清洗
2、 1:1:5的浓氨水：双氧水：水 混合液 超声沉降 改变硅片表面亲水性
这个是增强亲水
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木子先生李
干燥箱，氮气柜，洁净烘箱，真空烘箱，无氧烘箱，温湿度环境试验设备www.enohk.com
6楼2017-06-14 10:07:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

最常见的办法是熏蒸或者涂敷一层HMDS。这个可以问问研材微纳，他们有。
一般硅片表面有原生氧化层，所以和无极性的有机溶剂不沾。所以需要进行表面处理。用HF清楚表面氧化层，可以改善，但是有时间限制。所以主流就是做表面处理了。
另外还要看看是什么有机溶剂，可以选择不同的表面处理方式。
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2楼2017-05-10 16:49:54
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linsunche

至尊木虫 (职业作家)

林霸

【答案】应助回帖

表面進行接枝-親油官能基改質~
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3楼2017-05-12 20:29:20
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i东哥i

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

1、Piranha溶液清洗硅片
Piranha溶液配方：98%的浓硫酸与30%的双氧水 以体积比7:3混合  
清洗方法：超声沉降清洗
2、 1:1:5的浓氨水：双氧水：水 混合液 超声沉降 改变硅片表面亲水性
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木子先生李
此男现在单身
4楼2017-06-13 22:33:20
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