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如何处理硅片才能让硅片亲有机溶剂
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木子先生李
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如何处理硅片才能让硅片亲有机溶剂
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6楼
:
Originally posted by
enohk
at 2017-06-14 10:07:00
1、Piranha溶液清洗硅片
Piranha溶液配方:98%的浓硫酸与30%的双氧水 以体积比7:3混合
清洗方法:超声沉降清洗
2、 1:1:5的浓氨水:双氧水:水 混合液 超声沉降 改变硅片表面亲水性
这个是增强亲水
这两种方法都是增强亲水吧 有什么办法能增强亲油呢
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7楼
2017-06-14 14:28:34
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【答案】应助回帖
最常见的办法是熏蒸或者涂敷一层HMDS。这个可以问问研材微纳,他们有。
一般硅片表面有原生氧化层,所以和无极性的有机溶剂不沾。所以需要进行表面处理。用HF清楚表面氧化层,可以改善,但是有时间限制。所以主流就是做表面处理了。
另外还要看看是什么有机溶剂,可以选择不同的表面处理方式。
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2楼
2017-05-10 16:49:54
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【答案】应助回帖
表面進行接枝-親油官能基改質~
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3楼
2017-05-12 20:29:20
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
1、Piranha溶液清洗硅片
Piranha溶液配方:98%的浓硫酸与30%的双氧水 以体积比7:3混合
清洗方法:超声沉降清洗
2、 1:1:5的浓氨水:双氧水:水 混合液 超声沉降 改变硅片表面亲水性
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木子先生李
此男现在单身
4楼
2017-06-13 22:33:20
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