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nanate金虫 (小有名气)
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[交流]
[求助]硅膜制备试验
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请教一个问题，用PECVD制备硅膜试验中，如果用二氯氢硅作为前驱体，真空泵是否会受到很强的腐蚀，如果有，用什么办法可以解决？谢谢！ [ Last edited by wuli8 on 2009-1-6 at 14:35 ] |
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