| 查看: 287 | 回复: 3 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
nanate金虫 (小有名气)
|
[交流]
[求助]硅膜制备试验
|
||
|
请教一个问题，用PECVD制备硅膜试验中，如果用二氯氢硅作为前驱体，真空泵是否会受到很强的腐蚀，如果有，用什么办法可以解决？谢谢！ [ Last edited by wuli8 on 2009-1-6 at 14:35 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
334分 一志愿武理 材料求调剂
已经有7人回复
-
275求调剂
已经有18人回复
-
环境工程 085701，267求调剂
已经有6人回复
-
070305高分子化学与物理 304分求调剂
已经有12人回复
-
材料与化工272求调剂
已经有12人回复
-
277跪求调剂
已经有10人回复
-
化学工程085602 305分求调剂
已经有19人回复
-
一志愿北京化工大学材料与化工（085600）296求调剂
已经有15人回复
-
085600 286分 材料求调剂
已经有9人回复
-
南京大学化学调剂
已经有9人回复
enxilove
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 831.5
- 帖子: 120
- 在线: 10.8小时
- 虫号: 663886
- 注册: 2008-11-28
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2009-01-06 19:10:02
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2009-01-07 00:41:25
nanate
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 290.5
- 散金: 30
- 帖子: 127
- 在线: 89.5小时
- 虫号: 525022
- 注册: 2008-03-14
- 性别: GG
- 专业: 材料
4楼2009-01-09 17:46:58
