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昨天使用Az5214E进行光刻 光刻显影之后，直线变成弯的了，应该是在显影的时候，光刻胶从基底上脱离了。想知道，导致这个问题的原因是什么？ 当时的实验条件： 旋涂：4000rpm 1分钟 Bake：95C 95s 曝光：紫外功率忘了，15s 显影时间大概60s Si片比较老了，而且不是那种自带SiO2的；其他试剂也是有点历史的。。。  Screen Shot 2017-04-27 at 5.40.33 PM.png |
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yswyx 
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3楼2017-04-28 13:53:22
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