24小时热门版块排行榜    

查看: 1011  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

Jocely-88

新虫 (初入文坛)


[交流] 有什么办法可以在光刻时使光刻版上画的三个方向对准外延材料的三个晶向?

有什么办法可以在光刻时,使光刻版上画的三个方向110/100/1-10对准外延材料的三个晶向110/100/1-10?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jocely-88

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2017-04-28 14:00:44
这要看你的外延片子是在什么材料上长的。一般来说外延用的单晶衬底是有定位边的,指向某一晶向。
你可以利用这个定位边,和光刻版上的图案进行对准。
你可以在光刻版上画一条直线,在设计中和定位边平行,在显微镜 ...

多谢指点。
7楼2017-05-02 14:58:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

Jocely-88(金币+1): 谢谢参与
这要看你的外延片子是在什么材料上长的。一般来说外延用的单晶衬底是有定位边的,指向某一晶向。
你可以利用这个定位边,和光刻版上的图案进行对准。
你可以在光刻版上画一条直线,在设计中和定位边平行,在显微镜下通过调节θ角度,把定位边和这个直线图案重合或平行,就能保证晶向的准确。然后再调节X和Y方向,保证图形的对准就可以了(如果不需要对准图形,那么就不需要再调X、Y)
3楼2017-04-28 14:00:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
yihuzp6楼
2017-04-30 07:15   回复  
Jocely-88(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
2017-04-28 20:04   回复  
Jocely-88(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫IOS客户端
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 341求调剂(一志愿湖南大学070300) +5 番茄头--- 2026-03-22 6/300 2026-03-23 23:45 by Txy@872106
[考研] 327求调剂 +5 prayer13 2026-03-23 5/250 2026-03-23 22:11 by 星空星月
[考研] 一志愿中南大学化学学硕0703总分337求调剂 +5 niko- 2026-03-22 5/250 2026-03-23 22:01 by fuyu_
[考研] 化学308分求调剂 +3 你好明天你好 2026-03-23 3/150 2026-03-23 20:11 by macy2011
[考研] 333求调剂 +3 ALULU4408 2026-03-23 3/150 2026-03-23 19:04 by macy2011
[考研] 招08考数学 +6 laoshidan 2026-03-20 14/700 2026-03-23 14:37 by 15614359529
[考研] 求老师收我 +3 zzh16938784 2026-03-23 3/150 2026-03-23 12:56 by ztnimte
[考研] 307求调剂 +3 余意卿 2026-03-21 3/150 2026-03-23 10:32 by Iveryant
[考研] 323求调剂 +6 洼小桶 2026-03-18 6/300 2026-03-23 00:29 by king123!
[考研] 280求调剂 +11 咕噜晓晓 2026-03-18 12/600 2026-03-21 22:40 by ACS Nano——
[考研] 化学调剂 +5 yzysaa 2026-03-21 5/250 2026-03-21 22:12 by peike
[考研] 313求调剂 +4 肆叁贰壹22 2026-03-19 4/200 2026-03-21 17:33 by ColorlessPI
[考研] 266求调剂 +3 哇呼哼呼哼 2026-03-20 3/150 2026-03-21 16:46 by barlinike
[考研] 求调剂 +3 .m.. 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:25 by barlinike
[考研] 303求调剂 +5 睿08 2026-03-17 7/350 2026-03-21 03:11 by JourneyLucky
[考研] 083200学硕321分一志愿暨南大学求调剂 +3 innocenceF 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:35 by JourneyLucky
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境专硕,总分308求调剂 +3 墨墨漠 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:39 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ^O^乜 2026-03-19 7/350 2026-03-20 21:43 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 @taotao 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:35 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南理工085701环境302求调剂院校 +3 葵梓卫队 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:28 by zhukairuo
信息提示
请填处理意见