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Jocely-88

新虫 (初入文坛)

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[交流] 有什么办法可以在光刻时使光刻版上画的三个方向对准外延材料的三个晶向？

有什么办法可以在光刻时，使光刻版上画的三个方向110/100/1-10对准外延材料的三个晶向110/100/1-10？

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1楼 2017-04-27 16:04:29

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

★
Jocely-88(金币+1): 谢谢参与

这要看你的外延片子是在什么材料上长的。一般来说外延用的单晶衬底是有定位边的，指向某一晶向。
你可以利用这个定位边，和光刻版上的图案进行对准。
你可以在光刻版上画一条直线，在设计中和定位边平行，在显微镜下通过调节θ角度，把定位边和这个直线图案重合或平行，就能保证晶向的准确。然后再调节X和Y方向，保证图形的对准就可以了（如果不需要对准图形，那么就不需要再调X、Y）

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3楼2017-04-28 14:00:44

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Jocely-88

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by yswyx at 2017-04-28 14:00:44
这要看你的外延片子是在什么材料上长的。一般来说外延用的单晶衬底是有定位边的，指向某一晶向。
你可以利用这个定位边，和光刻版上的图案进行对准。
你可以在光刻版上画一条直线，在设计中和定位边平行，在显微镜 ...

多谢指点。

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7楼2017-05-02 14:58:20

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syhorchid2楼

2017-04-27 16:43 回复

Jocely-88(金币+1): 谢谢参与