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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教一下，原子层沉积比较热门的是沉积哪些材料？
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livekai

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教一下，原子层沉积比较热门的是沉积哪些材料？已有4人参与

如题，我想通过在陶瓷表面原子层沉积某种材料提高其导电性，谢谢
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1楼2017-04-24 20:11:42
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hitplam

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by samjut at 2017-04-27 16:39:12
想问问这个ALD的设备要多少钱呀？具体型号能告知一下吗？

国产的设备30-50万不等，进口的设备就贵了，正常都一两百万的。
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7楼2017-07-12 15:15:48
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欢颜天下1991

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
二维材料算一个吧
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2楼2017-04-25 16:30:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ALD是可以做金属的，但是这恰恰是ALD非常冷门的方向。可以做铜，也可以做Au，但是还没见过谁家有用的。
常见的都是做钝化层，比如氧化铝，氧化铪等等氧化物。
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3楼2017-04-26 17:28:04
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samjut

金虫 (小有名气)
想问问这个ALD的设备要多少钱呀？具体型号能告知一下吗？
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4楼2017-04-27 16:39:12
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