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1楼2017-04-24 20:11:42

欢颜天下1991

铜虫 (初入文坛)

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2楼2017-04-25 16:30:17

yswyx

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ALD是可以做金属的，但是这恰恰是ALD非常冷门的方向。可以做铜，也可以做Au，但是还没见过谁家有用的。
常见的都是做钝化层，比如氧化铝，氧化铪等等氧化物。

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3楼2017-04-26 17:28:04

samjut

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想问问这个ALD的设备要多少钱呀？具体型号能告知一下吗？

4楼2017-04-27 16:39:12

chengkeji

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引用回帖:

3楼: Originally posted by yswyx at 2017-04-26 17:28:04
ALD是可以做金属的，但是这恰恰是ALD非常冷门的方向。可以做铜，也可以做Au，但是还没见过谁家有用的。
常见的都是做钝化层，比如氧化铝，氧化铪等等氧化物。

你好，你知道哪里可以做ALD沉积Pt吗？

5楼2017-05-03 15:44:53

zkzm

木虫 (著名写手)

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5楼: Originally posted by chengkeji at 2017-05-03 15:44:53
你好，你知道哪里可以做ALD沉积Pt吗？...

做电化学？这个很多了

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青春大学理想人生现实

6楼2017-05-29 12:00:29

hitplam

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4楼: Originally posted by samjut at 2017-04-27 16:39:12
想问问这个ALD的设备要多少钱呀？具体型号能告知一下吗？

国产的设备30-50万不等，进口的设备就贵了，正常都一两百万的。

7楼2017-07-12 15:15:48