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询问热浓磷酸刻蚀单晶硅其反应方程式是什么
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| 大家好，想问问大家热浓磷酸刻蚀硅片上氮化硅，二氧化硅的同时会刻蚀单质硅，热浓磷酸刻蚀单质硅的反应方程式是什么？生成什么产物 |
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