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易偿赠礼

银虫 (小有名气)

[求助] 询问热浓磷酸刻蚀单晶硅其反应方程式是什么

大家好,想问问大家热浓磷酸刻蚀硅片上氮化硅,二氧化硅的同时会刻蚀单质硅,热浓磷酸刻蚀单质硅的反应方程式是什么?生成什么产物
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