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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶与曝光
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lixiao09

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2017-04-19 14:56:43
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温馨妹

新虫 (小有名气)
厚度越厚 曝光时间越长

发自小木虫IOS客户端
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2楼2017-04-21 14:58:50
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lixiao09

禁虫 (初入文坛)
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3楼2017-04-23 10:15:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

厚度越厚，时间越长，但不是线性的。光刻胶里有染色剂，想曝透更厚的胶，剂量需要指数增长。吸收不强烈的胶，可以近似认为是线性的。
二次曝光往往发生在反转胶这个特殊胶和工艺中。为了让已经曝光过的地方过曝，没曝的地方曝光，达到光刻胶性质反转的效果。
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4楼2017-04-24 18:49:17
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2017-04-24 18:49:17
厚度越厚，时间越长，但不是线性的。光刻胶里有染色剂，想曝透更厚的胶，剂量需要指数增长。吸收不强烈的胶，可以近似认为是线性的。
二次曝光往往发生在反转胶这个特殊胶和工艺中。为了让已经曝光过的地方过曝，没 ...

老师啊  你看你这个头像的结构也是有undercut现象的啊，您没注意到么？》这就是我上次一直想解决的问题
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5楼2018-12-03 13:46:28
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gyxzby

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2018-12-03 13:46:28
老师啊  你看你这个头像的结构也是有undercut现象的啊，您没注意到么？》这就是我上次一直想解决的问题...

兄弟，你的问题除了SEM图片有没有显微镜图片啊，另外你的工艺参数也要写清楚才好分析啊，你的问题贴我看了，我也比较好奇想研究一下，方面提供信息么？
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6楼2018-12-04 17:50:26
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-04 17:50:26
兄弟，你的问题除了SEM图片有没有显微镜图片啊，另外你的工艺参数也要写清楚才好分析啊，你的问题贴我看了，我也比较好奇想研究一下，方面提供信息么？...

工艺参数我只能说曝光能量，显影时间，前烘温度等等我都优化过了，都没变化
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7楼2018-12-04 19:29:41
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