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lixiao09

禁虫 (初入文坛)

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温馨妹

新虫 (小有名气)

厚度越厚 曝光时间越长

发自小木虫IOS客户端
2楼2017-04-21 14:58:50
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lixiao09

禁虫 (初入文坛)

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3楼2017-04-23 10:15:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

厚度越厚,时间越长,但不是线性的。光刻胶里有染色剂,想曝透更厚的胶,剂量需要指数增长。吸收不强烈的胶,可以近似认为是线性的。
二次曝光往往发生在反转胶这个特殊胶和工艺中。为了让已经曝光过的地方过曝,没曝的地方曝光,达到光刻胶性质反转的效果。
4楼2017-04-24 18:49:17
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2017-04-24 18:49:17
厚度越厚,时间越长,但不是线性的。光刻胶里有染色剂,想曝透更厚的胶,剂量需要指数增长。吸收不强烈的胶,可以近似认为是线性的。
二次曝光往往发生在反转胶这个特殊胶和工艺中。为了让已经曝光过的地方过曝,没 ...

老师啊  你看你这个头像的结构也是有undercut现象的啊,您没注意到么?》这就是我上次一直想解决的问题
5楼2018-12-03 13:46:28
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gyxzby

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2018-12-03 13:46:28
老师啊  你看你这个头像的结构也是有undercut现象的啊,您没注意到么?》这就是我上次一直想解决的问题...

兄弟,你的问题除了SEM图片有没有显微镜图片啊,另外你的工艺参数也要写清楚才好分析啊,你的问题贴我看了,我也比较好奇想研究一下,方面提供信息么?
6楼2018-12-04 17:50:26
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by gyxzby at 2018-12-04 17:50:26
兄弟,你的问题除了SEM图片有没有显微镜图片啊,另外你的工艺参数也要写清楚才好分析啊,你的问题贴我看了,我也比较好奇想研究一下,方面提供信息么?...

工艺参数我只能说曝光能量,显影时间,前烘温度等等我都优化过了,都没变化
7楼2018-12-04 19:29:41
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